来源:新浪科技
新浪科技讯 9 月 21 日上午消息,长鑫存储宣布第五代 DRAM 技术平台(简称 "G5 平台 ")实现量产,同时展出基于该平台打造的大容量 LPDDR5X 新品。据悉,该平台工艺水平比肩行业顶尖量产工艺节点,是长鑫存储高端存储技术路线上的里程碑式突破。
G5 平台依托创新的四重曝光技术把内存阵列的有源区半间距微缩至 11.95 纳米,接近全球顶尖内存量产平台制程。通过变革工艺流程、采用新材料,存储电容深宽比达 45:1。开发适配 DRAM 工艺的高介电常数金属栅(HKMG)工艺,将 G5 平台核心功能区高度缩小到 6762 纳米。
G5 微缩工艺的突破推动存储密度实现跨越式提升:每片晶圆产出裸片数量较第四代平台提升至少 50%,在产品能效、成本控制上均具备显著优势。(文猛)