【" 中国刻蚀机之父 " 尹志尧：已经有能力来做最先进的设备】财联社 5 月 17 日电，在《对话》中，被称为 " 中国刻蚀机之父 " 的中微半导体设备（上海）股份有限公司董事长兼总经理尹志尧表示，2023 年 12 月，中微决定进入大平板设备领域（此前大概有 17 种工艺设备全部依赖进口）。这种设备重达 150 吨，长 15 米宽 15 米，有两层半楼高。按照尹志尧的经验，开发这样的设备至少需要 3-7 年。但中微的精锐团队只用 12 个月就从一张白纸做出了可运转的设备，不到 4 个月就达到客户下一代要求，18 个月就运到生产线上并通过核准。我们现在已经有能力来做最先进的设备。
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